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風淋室-潔凈室設計常見問題解析及相關規范理解

問題]1 潔凈室的定義及測試常用的規范有那些?

[解答 ]潔凈室常用的規范有四種，分別是

1.美國聯邦標準Federal Standard 209E (Fed 209E)

2.美國環境科學學會 (Institute of Environmental Sciens and Technology) 無塵室測試規范IEST-RP-CCO06.2

3.美國環境平衡局 (National Environmental Balancing Bureau) 之無塵室程序規范Produral Standards for rtified Testing of Cleanrooms。

4.國際標準組織 (International Organization for Standardization) ISO 14644-1

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[問題]2  無塵室的品質直接影響製造品質之良窳，無塵室在施工完畢后，需要經過那些測試以驗證其性能是否符合要求。

[解答]     需經過潔淨度、空氣過濾器洩漏、